您现在的位置:首页 > 正文

热点!聚光科技:7350系列质谱仪提升灵敏度和抗干扰能力

时间:2026-07-13 16:37:06    来源:财闻    


(相关资料图)

有投资者向聚光科技(300203.SZ)提问,谱育科技7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS/MS)已经开始批量交付了吗?产品和国外比有没有差距?还是比国外更先进

7月13日,公司回答表示,谱育科技于今年3月发布的新产品7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS/MS)在灵敏度、抗干扰能力及自动化联用等方面实现大幅提升,针对典型半导体领域样品(湿化学品,晶圆杂质金属,硅烷,电子特气等)的检出能力稳定在sub -ppt水平,在覆盖半导体全场景超痕量检测需求的同时,显著提升的灵敏度水平将有力支持半导体量测端的数据质量管理,为主流&先进制程提供更严格的工艺规格与材料认证。

关键词: 半导体 质谱仪 灵敏度 聚光科技 等离子体 关键材料

凡本网注明“XXX(非中国微山网)提供”的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和其真实性负责。

特别关注