中国科学院金属研究所：闪速退火新策略实现晶圆级弛豫反铁电储能薄膜电容器

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人民财讯11月15日电，据中国科学院金属研究所消息，电介质储能电容器凭借高功率密度、超快充放电速度和长循环寿命等优势，被广泛应用于脉冲激光器、新能源汽车等高功率电子设备。然而，如何在维持高储能密度与效率的同时，进一步提升其温度稳定性，仍然是当前面临的关键挑战。目前，主流策略是通过多相复合、化学掺杂或缺陷工程等方法引入纳米畴结构，旨在诱导弛豫铁电或弛豫反铁电特性以优化储能性能。但这类方法的工艺通常较为复杂，制约了高性能电介质储能薄膜的大规模制备。

针对上述挑战，中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家研究中心胡卫进研究员团队创新性地提出利用超快结晶过程 “锁定” 高温纳米铁电/反铁电畴，以制备高性能弛豫铁电或反铁电薄膜的新思路。研究团队据此成功开发出升降温速率达每秒1000摄氏度的“闪速退火”工艺，并凭借它，仅用1秒就完成了锆酸铅弛豫反铁电薄膜的结晶。相关薄膜电容器展现出了良好的储能性能和出色的热稳定性。该成果以“闪速退火构筑晶圆级弛豫反铁电薄膜以提升储能性能”为题, 于2025年11月15日发表在 《科学进展》（Science Advances）杂志上。

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